光阻和光刻胶区别

编辑:小老虎 时间:2022-11-12 13:56:53

光阻和光刻胶区别

光阻也叫光刻胶,他们是同一个意思。

光刻胶(英语:photoresist),亦称为光阻或光阻剂,是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。

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